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铜会有用地泄漏原子并窒碍特朗普新闻发布会硅的电性能
2024-06-27跟着铜的有用性连接裁减特朗普新闻发布会,芯片制造商对新互连工夫的关怀度正在连接提高,为改日节点和先进封装的性能提高和减少热量的要紧调治奠定了基础。 1997 年引入铜互连颠覆了其时表率的钨通孔/铝线金属化决策。双嵌入集成(Dual damascene integration schemes )决策用电镀和 CMP 等“湿”工艺取代了等离子蚀刻和千里积等“干”法子。其时,制造商正勤恳在更复杂的互一语气构眼前尽量减少 RC 延伸。 近三十年后,半导体行业也处在肖似的十字街头。连接减轻的涌现尺寸正在